過保固維修

專業的半導體設備過保固維修服務

機台改造

根據客戶需求進行半導體機台改造，提供完全客製化的解決方案。

涵蓋半導體前後段製程設備

前後段製程設備如：光阻塗佈顯影機、濕製程與電鍍、化學沉積 CVD

光阻塗佈顯影機
Coater / Developer

玖宸科技擁有豐富的光阻塗佈顯影機維修經驗，能夠處理TEL 的ACT、Lithius 等主流塗佈顯影設備。

◆ TEL MK7/8 系列

◆ ACT8/12 系列

◆ Lithius/ Pro 等系列

濕製程與電鍍
Plating / Wet

玖宸科技在濕製程和電鍍設備領域擁有深厚的技術積累，能夠熟練處理 AMAT 和 Lam 等品牌的各種機型。

◆ AMAT 電鍍機型

Raider

Nokota

Mustang

◆ Lam 電鍍機型

Sabre Excel

Sabre3D

化學沈積
CVD

玖宸科技的工程師具備豐富的 CVD 設備維修經驗，能夠處理Lam 和AMAT 等主流品牌的各種機型，包括複雜的工藝參數調整和故障診斷。

◆ Lam CVD機型

Eexel

Extrame

Vector系列

◆ AMAT CVD 機型

Producer SE

GT系列

拆機與機台改造
Disassembly / Retrofit

玖宸科技的工程師能夠執行複雜的硬體調整、功能改造和性能優化，確保改造後的設備達到最佳工作狀態。無論是簡單的維修還是複雜的改造項目，我們都能提供專業的解決方案。

◆ 機台拆機與裝機

◆ 硬體設備調整

◆ 機台功能改造

◆ 性能優化升級

◆ 完整維修服務

設備機台拆裝機

◆ Lam Sabre 3D 機台拆機

◆ ECOLITE 3000 CVD 拆機

◆ TEL NS300+ 拆機加裝機

設備機台定期保養

• 機型

設備機台故障緊急服務

• 機型

半導體自動化設備客製化

• 機型

艾克爾國際科技股份有限公司

全球領先外包封測廠

力晶積成電子製造

三大晶圓代工廠之一

美光（銅鑼力積電）

全球記憶體領導者

天虹科技股份有限公司

技術及零件支援

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杰博股份有限公司

技術及零件支援

京準精密有限公司

二里華半導體科技股份有限公司